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申请/专利权人：上海傲博电子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种石墨舟表面的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：将石墨舟放入由氢氟酸、硝酸和水按照体积比HF:HNO3:H2O＝0.9‑1.1：0.9‑1.1：2.7‑3.3混合配制而成的清洗液中进行清洗，其中，氢氟酸原液的质量分数为9.9％‑12.1％，硝酸原液的质量分数为12.2％‑15.0％；用纯水冲洗石墨舟表面；将石墨舟放入纯水浸泡槽清洗，同时进行持续的鼓泡作业；将石墨舟放入纯水浸泡槽清洗，溢流，同时进行持续的鼓泡作业；对石墨舟表面进行吹干处理，去除表面水分；将石墨舟移动到洁净烘箱内进行干燥处理。本发明通过优化包含氢氟酸和硝酸的清洗液配方，针对性地去除石墨舟表面吸附的Si、SiO2、Si3N4等顽固杂质，结合酸洗－水洗－吹干－干燥的多步清洗工艺，显著提高了清洗效率和清洗质量。
主权项：1.一种石墨舟表面的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将石墨舟放入由氢氟酸、硝酸和水按照体积比HF:HNO3:H2O＝0.9-1.1：0.9-1.1：2.7-3.3混合配制而成的清洗液中进行清洗，其中，氢氟酸原液的质量分数为9.9％-12.1％，硝酸原液的质量分数为12.2％-15.0％；S2、用纯水冲洗石墨舟表面；S3、将石墨舟放入纯水浸泡槽清洗，同时进行持续的鼓泡作业；S4、将石墨舟放入纯水浸泡槽清洗，溢流，同时进行持续的鼓泡作业；S5、对石墨舟表面进行吹干处理，去除表面水分；S6、将石墨舟移动到洁净烘箱内进行干燥处理。
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百度查询： 上海傲博电子科技有限公司 一种石墨舟表面的清洗方法
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