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一种体声波谐振器 

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申请/专利权人:武汉敏声新技术有限公司

摘要:本发明公开一种体声波谐振器,体声波谐振器中的谐振信号沿垂直方向传播,沿第二方向振动;体声波谐振器包括位于顶电极相对两侧的第一凹槽抑制结构和第二凹槽抑制结构;第一凹槽抑制结构、顶电极和第二凹槽抑制结构沿第一方向依次排列,第一方向与第二方向垂直;第一凹槽抑制结构和第二凹槽抑制结构均沿第二方向延伸;体声波谐振器还包括位于同一底电极和或同一顶电极的第一凸起抑制结构和第二凸起抑制结构;第一凸起抑制结构和第二凸起抑制结构位于同一底电极和或同一顶电极不相邻的两侧边缘;第一凸起抑制结构和第二凸起抑制结构沿第二方向排列。采用上述技术方案,可以提高品质因数,降低杂散模态干扰,同时提升功率容量和机械可靠性。

主权项:1.一种体声波谐振器,其特征在于,从下到上依次包括:衬底、布拉格反射栅、底电极、压电层和顶电极;所述底电极在所述衬底所在平面的垂直投影与所述顶电极在所述衬底所在平面的垂直投影交叠;其中,所述体声波谐振器中的谐振信号沿垂直方向传播,沿第二方向振动,所述第二方向与所述衬底所在平面平行;所述体声波谐振器还包括位于所述顶电极相对两侧的第一凹槽抑制结构和第二凹槽抑制结构;所述第一凹槽抑制结构、所述顶电极和所述第二凹槽抑制结构沿第一方向依次排列,所述第一方向也与所述衬底所在平面平行,且所述第一方向与所述第二方向垂直;所述第一凹槽抑制结构和所述第二凹槽抑制结构均沿所述第二方向延伸;所述体声波谐振器还包括分别位于同一所述底电极和或同一所述顶电极的第一凸起抑制结构和第二凸起抑制结构;所述第一凸起抑制结构和第二凸起抑制结构位于同一所述底电极和或同一所述顶电极不相邻的两侧边缘;所述第一凸起抑制结构和所述第二凸起抑制结构沿所述第二方向排列。

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权利要求:

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