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申请/专利权人：视睿(杭州)信息科技有限公司
摘要：本发明提供了一种兼具检测和量测的系统，包括：Z轴模组，固定安装于检测台上，Z轴模组内设有电机驱动的移动轴，移动轴上套设有移动件，通过移动轴带动移动件沿扫描行进方向进行移动；3D模块，固定安装于移动件上，3D模块上的3D探头朝向置于检测台上的待检测晶圆；2D模块，固定安装于移动件上且与3D模块位于移动件上的同一端，2D模块上的2D探头朝向待检测晶圆，2D探头和3D探头的视野中心沿扫描行进方向位于同一直线上；控制模块，在接收到启动指令时，控制驱动电机带动移动件移动，并控制3D模块和2D模块对待检测晶圆进行检测和量测。有益效果是本发明能够实现在一个扫描周期内同时完成高速高精度的晶圆检测和量测，有效提高效率。
主权项：1.一种兼具检测和量测的系统，其特征在于，包括：一Z轴模组1，固定安装于一检测台2上，所述Z轴模组1内设有电机驱动的移动轴，所述移动轴上套设有一移动件3，通过所述移动轴带动所述移动件3沿扫描行进方向进行移动；一3D模块4，固定安装于所述移动件3上，所述3D模块4上的3D探头朝向置于所述检测台2上的待检测晶圆5；一2D模块6，固定安装于所述移动件3上且所述3D模块4和所述2D模块6位于所述移动件3上的同一端，所述2D模块6上的2D探头朝向所述待检测晶圆5，所述2D探头和所述3D探头的视野中心沿所述扫描行进方向位于同一直线上；一控制模块7，分别连接所述Z轴模组1内的所述电机、所述3D模块4和所述2D模块6，所述控制模块7在接收到外部输入的启动指令时，根据所述启动指令控制所述驱动所述电机以带动所述移动件3移动，并控制所述3D模块4和所述2D模块6对所述待检测晶圆5进行缺陷检测和共焦量测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 视睿(杭州)信息科技有限公司 一种兼具检测和量测的系统
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