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申请/专利权人：苏州汇影光学技术有限公司
摘要：本申请属于曝光装置制造领域，具体为一种高照度紫外曝光光源，包括光源球泡玻璃、主反射杯、副反射杯，主反射杯和副反射杯均为开口面积大于内底部面积的形状，主反射杯的内底面的面积小于副反射杯的开口的面积，光源球泡玻璃和副反射杯均位于主反射杯内，副反射杯的开口方向与主反射杯的开口方向相反且同心，光源球泡玻璃与主反射杯的开口边沿之间的连接线段切割副反射杯的侧壁，主反射杯与副反射杯之间预设间隙，光源球泡玻璃与主反射杯的内表面之间以及光源球泡玻璃与副反射杯的内表面之间均预设间隙；解决了现有技术中光源球泡玻璃发出的一部分光线没有经过反光罩便射出的，导致这部分光线的能量完全损失掉的问题。
主权项：1.一种高照度紫外曝光光源，其特征在于，包括光源球泡玻璃1、主反射杯2、副反射杯3，所述主反射杯2和副反射杯3均为开口面积大于内底部面积的形状，所述主反射杯2的内底面的面积小于所述副反射杯3的开口的面积，所述光源球泡玻璃1和所述副反射杯3均位于所述主反射杯1内，所述副反射杯3的开口方向与所述主反射杯2的开口方向相反且同心，所述光源球泡玻璃1与所述主反射杯2的开口边沿之间的连接线段切割所述副反射杯3的侧壁，所述主反射杯2与所述副反射杯3之间预设间隙，所述光源球泡玻璃1与所述主反射杯2的内表面之间以及所述光源球泡玻璃1与所述副反射杯3的内表面之间均预设间隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州汇影光学技术有限公司 一种高照度紫外曝光光源
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