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申请/专利权人:四川永祥光伏科技有限公司
摘要:本发明提供了一种单晶炉埚升控制方法,涉及单晶技术领域,其包括:步骤S1、采用分段定埚升的方式,使实际液位上升到目标液位附近;分段定埚升是指在不同等径长度范围内分别采用相应的固定埚升速度;步骤S2、采用补偿埚升的方式,使实际液位等于目标液位;步骤S3、采用固定埚升结合补偿埚升的方式,使实际液位保持在该目标液位;固定埚升指在指定等径长度范围内采用固定的埚升速度。阶段1分段定埚升把实际液位上升到目标液位附近,阶段2采用补偿埚升的方式使实际液位与目标液位一致,阶段3用定埚升加上补偿埚升的方式使实际液位保持在目标液位,从而减少实际拉速的波动,提高单晶硅棒的直径控制精度和单晶硅棒的品质。
主权项:1.一种单晶炉埚升控制方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤S1、采用分段定埚升的方式,使实际液位上升到目标液位附近;分段定埚升是指在不同等径长度范围内分别采用相应的固定埚升速度;步骤S2、采用补偿埚升的方式,使实际液位等于目标液位;步骤S3、采用固定埚升结合补偿埚升的方式,使实际液位保持在该目标液位;固定埚升指在指定等径长度范围内采用固定的埚升速度;固定埚升对应的等径长度大于分段定埚升对应的等径长度。
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百度查询: 四川永祥光伏科技有限公司 一种单晶炉埚升控制方法
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