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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：衬底处理装置包括：腔室，在所述腔室中形成用于处理衬底的处理空间；衬底支撑单元，所述衬底支撑单元在所述处理空间中支撑所述衬底；气体供应部分，所述气体供应部分向所述处理空间供应工艺气体；气体供应单元，所述气体供应单元向所述气体供应部分供应气体；以及控制器，所述控制器被连接到所述气体供应单元，其中所述气体供应单元包括流量控制阀，所述流量控制阀控制通过气体供应管线供应的工艺气体的流量，并且所述控制器在第一时间期间控制所述流量控制阀，以交替地提供比所述第一时间内的平均流量大的流量供应和比平均流量小的流量供应。
主权项：1.一种衬底处理装置，包括：腔室，在所述腔室中形成用于处理衬底的处理空间；衬底支撑单元，所述衬底支撑单元在所述处理空间中支撑所述衬底；气体供应部分，所述气体供应部分向所述处理空间供应工艺气体；气体供应单元，所述气体供应单元向所述气体供应部分供应气体；以及控制器，所述控制器被连接到所述气体供应单元，其中所述气体供应单元包括流量控制阀，所述流量控制阀控制通过气体供应管线供应的工艺气体的流量，并且所述控制器在第一时间期间控制所述流量控制阀交替地提供比所述第一时间内的平均流量大的流量的供应和比所述平均流量小的流量的供应。
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权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 衬底处理装置及衬底处理方法
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