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申请/专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种多温区半导体温控设备及方法，多温区半导体温控设备的第一制冷装置的第一换热器为双系统换热器，包括第一放热通路、第二放热通路和吸热通路，第一压缩机、第一换热器的第一放热通路与第二换热器的吸热通路依次连通形成第一制冷回路；第二制冷装置的第二压缩机、冷凝器的放热通路、第二换热器的第一放热通路与蒸发器的吸热通路依次连通形成第二制冷回路；循环系统与第一换热器的第二放热通路连通形成第一循环回路；循环系统与蒸发器的放热通路连通形成第二循环回路。双系统换热器将厂务水与复叠式制冷系统的换热器和厂务水与第一循环回路的换热器结合，有效降低温控设备整体的体积。
主权项：1.一种多温区半导体温控设备，其特征在于，包括：复叠式制冷系统100，包括第一制冷装置110和第二制冷装置120，所述第一制冷装置110包括第一压缩机1、第一换热器4和第二换热器10；所述第一换热器4为双系统换热器，包括第一放热通路、第二放热通路和吸热通路，所述第一压缩机1、所述第一换热器4的第一放热通路与所述第二换热器10的吸热通路依次连通形成第一制冷回路；所述第二制冷装置120包括第二压缩机11、冷凝器14和蒸发器20；所述第二压缩机11、所述冷凝器14的放热通路、所述第二换热器10的第一放热通路与所述蒸发器20的吸热通路依次连通形成第二制冷回路；循环系统300，所述循环系统300与所述第一换热器4的第二放热通路连通形成第一循环回路；所述循环系统300与所述蒸发器20的放热通路连通形成第二循环回路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 多温区半导体温控设备及方法
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