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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本申请实施例提供了一种晶片传输装置。晶片传输装置包括传输本体、定位组件和驱动组件；传输本体的第一表面用于放置托盘，传输本体的第二表面用于连接定位组件，其中，第一表面和第二表面为传输本体相对的两个表面；定位组件包括多个定位点，驱动组件和定位组件驱动连接，驱动组件用于驱动定位组件移动，以使托盘限位在多个定位点围成的限位区域中。这样，在传输本体转运托盘的过程中，可以确保托盘始终处于多个定位点围成的限位区域内，保证托盘相对于传输本体的位置不会发生偏移，进而保证薄膜沉积工艺的正常进行，从而提高薄膜沉积工艺的生产效率。
主权项：1.一种晶片传输装置，所述晶片放置在托盘上，其特征在于，所述晶片传输装置包括传输本体、定位组件和驱动组件；所述放置在托盘上的所述晶片的数量至少为一个；所述传输本体的第一表面用于放置所述托盘，所述传输本体的第二表面用于连接所述定位组件，其中，所述第一表面和所述第二表面为所述传输本体相对的两个表面，所述第一表面为平面；所述定位组件包括多个定位点，所述驱动组件和所述定位组件驱动连接，所述驱动组件用于驱动所述定位组件移动，以使所述托盘限位在多个所述定位点围成的限位区域中；其中，所述定位组件包括多个传动框架；多个所述传动框架包括第一传动框架、第二传动框架和第三传动框架；所述定位组件包括第一折杆、第二折杆、第三折杆、第四折杆、第一直杆、第二直杆、第三直杆和第四直杆；所述第一折杆、所述第二折杆、所述第三折杆和所述第四折杆均包括两个弯折部，两个所述弯折部在长度方向相交；所述第一直杆、所述第三直杆、所述第一折杆的一个所述弯折部、所述第三折杆的一个所述弯折部围成所述第一传动框架；所述第二直杆、所述第四直杆、所述第二折杆的一个弯折部、所述第四折杆的一个弯折部围成所述第三传动框架；所述第一折杆的另一个弯折部、所述第二折杆的另一个弯折部、所述第三折杆的另一个弯折部、所述第四折杆的另一个弯折部围成所述第二传动框架。
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权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 晶片传输装置
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