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申请/专利权人：魅杰光电科技(上海)有限公司
摘要：本申请提供一种环形暗场光纤装置，涉及晶圆检测技术领域。所述环形暗场光纤装置包括环形光罩以及沿所述环形光罩的内壁圆周排布的环形光纤头阵列，所述环形光纤头阵列中的两个环形光纤头之间具有预定光纤头间隔角度，且所述环形光纤头阵列由连接线缆引出，所述环形光纤头阵列中的每个环形光纤头的光纤NA角度小于光纤倾斜角度，且每个环形光纤头的工作距的范围为5mm‑40mm，每个环形光纤头的环形光纤厚度的范围为8mm‑25mm，利用环形暗场光纤能够更快速有效地检测出晶圆的划痕、颗粒和隐裂等，解决了明场照明很难检测出或容易漏检的技术缺陷，提升了半导体制造领域良率水平。
主权项：1.一种环形暗场光纤装置，其特征在于，包括环形光罩以及沿所述环形光罩的内壁圆周排布的环形光纤头阵列，所述环形光纤头阵列中的两个环形光纤头之间具有预定光纤头间隔角度，且所述环形光纤头阵列由连接线缆引出，所述环形光纤头阵列中的每个环形光纤头均为经过匀光处理的环形光纤头，所述环形光纤头阵列中的每个环形光纤头的光纤NA角度小于光纤倾斜角度，且每个环形光纤头的工作距为7mm，每个环形光纤头的环形光纤厚度的范围为8mm-25mm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 魅杰光电科技(上海)有限公司 一种环形暗场光纤装置
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