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一种连续加料式单晶炉 

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申请/专利权人:连城凯克斯科技有限公司

摘要:本发明属于单晶炉技术领域,具体的说是一种连续加料式单晶炉,包括炉体,炉体的侧壁活动安装有密封上料仓,密封上料仓包括活动安装在炉体侧壁的外壳,外壳的内部固定安装有过滤仓滚动安装在过滤仓的中心底端的动力圆柱;固定安装在动力圆柱外壁的放置板,放置板的内部设置有多个放置槽,放置槽的内部设置有可移动的第一过滤板;固定安装在过滤仓内壁的第一隔离板和第二隔离板,本发明通过过滤仓内部的第二过滤板和第一过滤板对多晶硅材料进行筛选,从而筛选出大小相似的多晶硅材料,使得上料均匀,从而降低上料前后温度差异的波动,而运料管内部的第二动力柱和运料页实现均匀上料的效果,提高单晶炉内部的温度稳定性。

主权项:1.一种连续加料式单晶炉,包括炉体1,所述炉体1的顶端固定安装有拉晶管12,所述炉体1的顶端固定安装有炉盖11,其特征在于:所述炉体1的侧壁活动安装有密封上料仓2,所述密封上料仓2包括活动安装在炉体1侧壁的外壳21,所述外壳21的内部固定安装有用于筛选多晶硅的过滤仓3;所述过滤仓3包括:滚动安装在过滤仓3的中心底端的动力圆柱318;固定安装在动力圆柱318外壁的放置板33,所述放置板33的内部设置有多个放置槽32,所述放置槽32的内部设置有可移动的第一过滤板34;开设在放置板33内部用于滑动第一过滤板34的过滤板滑槽331;固定安装在过滤仓3内壁的第一隔离板31和第二隔离板312,所述第一隔离板31和第二隔离板312与放置板33的顶端外壁和底端外壁贴合;固定安装在第一过滤板34侧壁的弹簧35,所述第一过滤板34的底端固定安装有第一凸起341;固定安装在第二隔离板312底端用于连通炉体1和过滤仓3的运料管4。

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