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申请/专利权人：中科宏芯(常州)传感科技有限公司
摘要：本发明属于碲锌镉技术领域，具体公开了一种碲锌镉平面金电极及其制备方法，制备方法包括：对碲锌镉晶片进行减薄；对碲锌镉晶片表面进行机械抛光；对碲锌镉晶片表面进行化学抛光，使碲锌镉晶片的表面形貌符合要求；使用光学胶对碲锌镉晶片进行封边，使碲锌镉晶片上需要制备金电极的表面暴露出来；将碲锌镉晶片浸入低温的AuCl4‑水溶液中进行化学沉积，使碲锌镉晶片的表面生成金电极；去除光学胶后，对碲锌镉晶片进行退火；对退火后的碲锌镉晶片进行钝化处理并清洗吹干，从而制备出碲锌镉平面金电极。本发明具有制备过程简单稳定，适合批量生产，并且制备出的碲锌镉平面金电极表面质量优异，能够有效提升器件性能的优点。
主权项：1.一种碲锌镉平面金电极的制备方法，其特征在于，包括：步骤一：对碲锌镉晶片进行减薄处理，使碲锌镉晶片达到需要的厚度；步骤二：对碲锌镉晶片表面进行机械抛光处理，使碲锌镉晶片的表面无划痕和拉丝；步骤三：对碲锌镉晶片表面进行化学抛光处理，使碲锌镉晶片的表面形貌符合要求，化学抛光的具体方式为：将腐蚀液充分浸润在抛光布中，碲锌镉晶片放置于抛光布上，利用抛光机带动抛光布旋转，使碲锌镉晶片表面均匀受到腐蚀液作用，且腐蚀后的残余物能快速被抛光布带走，其中，腐蚀液为溴甲醇腐蚀液或溴乙醇腐蚀液；步骤四：使用光学胶对碲锌镉晶片进行封边处理，使碲锌镉晶片上需要制备金电极的表面暴露出来；步骤五：将碲锌镉晶片浸入-5℃至5℃的AuCl4-水溶液中进行沉积处理，使碲锌镉晶片的表面生成金电极；步骤六：去除光学胶后，并对碲锌镉晶片进行退火处理；步骤七：对退火后的碲锌镉晶片进行钝化处理并清洗吹干，从而制备出碲锌镉平面金电极。
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