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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明的实施例提供一种固体前驱体蒸汽的稳压和纯化装置，包括：壳体，壳体内部形成封闭的处理空间；壳体设有与处理空间相通的进气口和排气口；以及，多个匀流部件，多个匀流部件设置在壳体内部并且沿着竖直方向依次排列，将处理空间分隔成从下至上依次排列的多个子空间；匀流部件设有通孔，相邻的子空间通过通孔连通；其中，进气口与位于最下部的子空间连通；排气口与位于最上部的子空间连通。还提供了一种ALD沉积设备。该稳压和纯化装置可以提高低蒸汽压力前驱体的蒸汽的稳定性，并且降低前驱体固体颗粒对传输管路、腔室和产品的污染。
主权项：1.一种固体前驱体蒸汽的稳压和纯化装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体内部形成封闭的处理空间；所述壳体设有与所述处理空间相通的进气口和排气口；以及多个匀流部件，多个匀流部件设置在所述壳体内部并且沿着竖直方向依次排列，将所述处理空间分隔成从下至上依次排列的多个子空间；所述匀流部件设有通孔，相邻的所述子空间通过所述通孔连通，并且，不相邻的两个所述子空间之间不存在直通通道；其中，所述进气口与位于最下部的所述子空间连通；所述排气口与位于最上部的所述子空间连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 固体前驱体蒸汽的稳压和纯化装置以及ALD沉积设备
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