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申请/专利权人：东莞市友辉光电科技有限公司
摘要：本发明涉及曝光平台的支撑装置，具有上铬板固定框及下铬板固定框，以及还包括有给予上铬板固定框安装支持的支撑立柱，上铬板固定框在支撑立柱上通过滑动块引导来实现沿空间直角坐标系的Z轴移动，滑动块与上铬板固定框之间通过浮动块连接，该浮动块与滑动块在空间直角坐标系的Z轴方向上具有一定范围内的相对移动量，使上铬板固定框和下铬板固定框构建真空时，上铬板固定框跟随抽真空状态自适向下铬板固定框移动。本发明可以保证曝光过程的线路板在真空环境吸附下即使遇到震动也不会发生变形及偏移，继续保持精确的对位状态，提升曝光生产效率及质量，加工精度更高。结构简单，投资成本低，符合产业利用。
主权项：1.曝光平台的支撑装置，具有上铬板固定框（1）及下铬板固定框（2），其特征在于，还包括有给予上铬板固定框（1）安装支持的支撑立柱（3），上铬板固定框（1）在支撑立柱（3）上通过滑动块（4）引导来实现沿空间直角坐标系的Z轴移动，滑动块（4）与上铬板固定框（1）之间通过浮动块（5）连接，该浮动块（5）与滑动块（4）在空间直角坐标系的Z轴方向上具有一定范围内的相对移动量，使上铬板固定框（1）和下铬板固定框（2）构建真空时，上铬板固定框（1）跟随抽真空状态自适向下铬板固定框（2）移动；所述上铬板固定框（1）和下铬板固定框（2）构建真空基于上玻璃（11）、下玻璃（21）及密封胶条（22）来实现，该上玻璃（11）设置在上铬板固定框（1）上，下玻璃（21）和密封胶条（22）则设置在下铬板固定框（2）上；上玻璃（11）和下玻璃（21）相互平行设置，待曝光的柔性基板定位在上玻璃（11）和下玻璃（21）之间，且在真空状态下进行曝光；所述密封胶条（22）分布在下玻璃（21）的周边，且密封胶条（22）的上侧面高于下玻璃（21）的上侧面，密封胶条（22）支顶上铬板固定框（1）并协助上铬板固定框（1）跟随抽真空状态自适向下铬板固定框（2）移动；所述的滑动块（4）通过电机丝杆机构（7）驱动，实现滑动块（4）在支撑立柱（3）上沿空间直角坐标系的Z轴移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞市友辉光电科技有限公司 曝光平台的支撑装置
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