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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明提供一种压力控制方法及系统，用于对传输平台中的腔室进行压力控制，该方法包括以下步骤：S1：对所述腔室进行本底抽气，直至所述腔室的压力达到预设本底压力值；S2：向所述腔室充气，在第一设定时间后停止充气；S3：以预定抽气速度对所述腔室进行抽气，直至所述腔室中的压力达到目标压力值为止。通过本发明，降低了传输平台的压力控制成本。
主权项：1.一种压力控制方法，用于对传输平台中的过渡腔室进行压力控制，其特征在于，所述方法包括以下步骤：S1：对所述过渡腔室进行本底抽气，直至所述过渡腔室的压力达到预设本底压力值，在所述过渡腔室中进行硅片传输时，所述预设本底压力值为50mTorr；S2：向所述过渡腔室充气，在第一设定时间后停止充气，所述第一设定时间为1s，以达到调节控压耗时的目的；S3：以预定抽气速度对所述过渡腔室进行抽气，直至所述过渡腔室中的压力达到目标压力值为止，所述目标压力值为所述目标压力值的大小为1～10Torr，所述预定抽气速度为5Lmin。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 压力控制方法及系统
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