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申请/专利权人：西北核技术研究所

摘要：本发明涉及一种用于传感器灵敏度标定的标定装置和方法，具体涉及一种薄膜式压力传感器动态标定装置及其使用方法。解决了现有采用机械式结构的薄膜式传感器动态标定，存在标定不准确的技术问题。本发明标定装置包括支撑系统、加载系统和数据采集设备。加载系统包括油缸组件、测量组件和标定油腔组件；油缸组件包括油缸、活塞杆；油缸的侧壁上相对安装标准传感器导杆和油腔导杆；活塞杆的头部位于油缸内；标准传感器与标准传感器导杆连接；标定油腔组件连接在油腔导杆端部，待标定薄膜传感器的敏感面放置于标定油腔组件中标定腔室的中心区域；数据采集设备用于采集记录标准传感器和待标定薄膜传感器的信号。

主权项：1.一种薄膜式压力传感器动态标定装置，其特征在于：包括支撑系统、加载系统和数据采集设备（15）；所述支撑系统包括基座（1）和固定设置在基座（1）上的两个支撑架（2）；所述基座（1）的中心设置有油缸安装孔（18），两个支撑架（2）分别位于油缸安装孔（18）相对的两侧；所述加载系统包括油缸组件、测量组件和标定油腔组件；所述油缸组件包括油缸（5）和活塞杆（7）；所述油缸（5）设置在油缸安装孔（18）内；所述油缸（5）中心沿竖直方向设置开口朝上的筒状内腔；所述活塞杆（7）的头部插入到筒状内腔内，活塞杆（7）的尾部位于油缸（5）上方；所述测量组件包括标准传感器导杆（4）、标准传感器（3）和油腔导杆（10）；所述标准传感器导杆（4）和油腔导杆（10）均沿轴向设置有中心通孔，标准传感器导杆（4）和油腔导杆（10）的中心通孔内径相同，且两者的内端分别穿过两个支撑架（2）连接在油缸（5）筒状内腔底部的两侧使得标准传感器导杆（4）和油腔导杆（10）的中心通孔连通；所述标准传感器导杆（4）的外端与标准传感器（3）连接；所述标定油腔组件包括油腔腔体（11）、油腔压盖（12）和补油螺钉（13）；所述油腔腔体（11）内侧中部设置有锥形结构的标定腔室（111），标定腔室（111）的小端通过油腔导杆（10）与油缸（5）的筒状内腔连通，油腔腔体（11）位于标定腔室（111）大端的一侧与油腔压盖（12）固连，油腔压盖（12）中部设置有与标定腔室（111）内外贯通且位于标定腔室（111）轴线上的第三螺纹孔（121），补油螺钉（13）位于第三螺纹孔（121）内；所述油腔腔体（11）和油腔压盖（12）之间用于固定待标定薄膜传感器（14），待标定薄膜传感器（14）的敏感面放置于标定腔室（111）的中心区域，且标准传感器（3）和待标定薄膜传感器（14）的敏感面距离油缸（5）中心距离一致；所述数据采集设备（15）用于采集记录标准传感器（3）和待标定薄膜传感器（14）的信号；所述两个支撑架（2）的距离小于油缸（5）的高度。

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