买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：长春长光辰芯光电技术有限公司(日本);长春长光辰芯微电子股份有限公司

摘要：[课题]本发明提供一种像素结构，在间接TOF相机用的固态成像装置，抑制杂散光向浮置扩散区FD的泄漏，从而提高飞行距离测定精度。[解决方法]在用于固态成像装置的像素100中，具备：光电二极管PD10；形成于硅基板的第二表面，一端连接于PD10的多个传输晶体管TG20、21；在第二表面上形成的一端和多个传输晶体管TG的另一端连接的多个浮置扩散区FD30、31；以及从第一表面朝向第二表面以预定深度形成并且围绕PD的周围的深沟槽隔离B‑DTI40，第一B‑DTI40中嵌入了遮光材料45，TG20、TG21栅极在至少一部分上具有从第二表面朝向第一表面以预定深度形成的第一垂直金属栅50。

主权项：1.一种用于固态成像装置的像素，该像素是用于间接TOF相机的像素，其特征在于，包括：多边形状的光电二极管，其根据从硅基板的第一表面入射的光的光量产生电荷；至少一个传输晶体管，其形成在所述硅基板的第二表面上，并且一端连接到所述光电二极管；浮置扩散区，其形成在所述硅基板的第二表面上，所述浮置扩散区的一端分别连接到各传输晶体管的另一端；以及第一深沟槽隔离，其从所述硅基板的第一表面朝向所述第二表面以预定深度形成并包围所述光电二极管的周围；遮光材料嵌入所述第一深沟槽隔离中，或者在所述第一深沟槽隔离内部形成具有光学反射功能的结构；所述传输晶体管的栅极在至少一部分上具有从所述硅基板的第二表面朝向所述第一表面以预定深度形成的第一垂直金属栅；每个传输晶体管的栅极分别包括多个所述第一垂直金属栅，并且在多个所述第一垂直金属栅之间存在没有第一垂直金属栅的平面栅极区域；所述第一垂直金属栅的尖端在与所述第一深沟槽隔离的尖端相同的平面上延伸或比所述第一深沟槽隔离的尖端更延伸到所述硅基板的第一表面侧；所述第一垂直金属栅分别配置在比所述第一深沟槽隔离更靠近所述光电二极管侧；在图像平面相位差自动对焦中，将由在上半部分形成有狭缝的像素的输出构成的图像与由在下半部分形成有狭缝的像素的输出构成的图像进行比较，计算这些图像之间的位置偏移的距离，由此判断相机是否对焦，向前偏移或向后偏移；在上半部分形成有狭缝的像素中，光电二极管的上半部在第一表面侧被遮光膜覆盖，传输晶体管、浮置扩散区设置在光电二极管与遮光膜的边缘正交的边；在下半部分形成有狭缝的像素中，光电二极管的下半部在第一表面侧被遮光膜覆盖，传输晶体管、浮置扩散区设置在光电二极管与遮光膜的边缘正交的边。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长春长光辰芯光电技术有限公司(日本) 长春长光辰芯微电子股份有限公司 用于固态成像装置的像素