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申请/专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
摘要：本发明提供了一种包括多孔基体的多孔聚氯酯抛光垫。多孔基体具有从基表面向上延伸并向上表面开口的大孔。大孔与三级孔互连，大孔的一部分向顶部抛光表面开口，并且大孔的至少一部分延伸到顶部抛光表面。弹簧臂区段连接大孔的下区段和上区段。弹簧臂区段全部在从竖直取向测量的相同水平方向上，并且它们组合以增加抛光过程中抛光垫的压缩率和顶部抛光表面的接触面积。
主权项：1.一种多孔聚氨酯抛光垫，包括：多孔基体，所述多孔基体具有从基表面向上延伸并向上表面开口的大孔，所述大孔与三级孔互连，所述大孔的一部分向顶部抛光表面开口，延伸到所述顶部抛光表面的所述大孔的至少一部分包括具有竖直取向的下区段和上区段以及连接所述下区段和所述上区段的弹簧臂区段，其中，竖直是朝向所述上表面与所述基表面正交的方向，所述弹簧臂区段全部相对于竖直具有15-90度的角度，并且其中，所述弹簧臂区段组合以增加抛光过程中所述抛光垫的压缩率和所述顶部抛光表面的接触面积。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 杠杆式多孔抛光垫
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