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金属微细线直径检测方法与装置 

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申请/专利权人:山东兰海新材料科技有限公司

摘要:本发明公开了金属微细线直径检测方法与装置,其中方法包括如下步骤:A、构建测试系统,所述测试系统至少包括用于承载金属微细线样品的具有承载面的平台、用于获取检测信息的可移动的敏感件、以及连接到敏感件用于采集检测信息的反馈系统,所述承载面为导电的;B、移动敏感件,以敏感件相对于平台上的承载金属微细线样品发生位移或者形态转变时所采集到的检测信息为依据,获取检测信息发生突变时的突变点相关的敏感件的行程信息;C、求解获得金属微细线直径D。本发明检测过程简单、效率高、检测精度高。

主权项:1.一种金属微细线直径检测方法,其特征在于,包括如下步骤:A、构建测试系统,所述测试系统至少包括用于承载金属微细线样品的具有承载面的平台、用于获取检测信息的可移动的敏感件、以及连接到敏感件用于采集检测信息的反馈系统,所述承载面为导电的,所述反馈系统包括电源、纳安表,所述纳安表串联到电源,所述电源的正极和负极分别电连接到承载面和敏感件,以至少实现与承载面的全部或者部分结构电连接以及实现与敏感件的全部或者部分结构电连接;B、移动敏感件,以敏感件相对于平台上的承载金属微细线样品发生位移或者形态转变时所采集到的检测信息为依据,获取检测信息发生突变时的突变点相关的敏感件的行程信息;C、以多次重复测试获得的突变点相关的敏感件的行程信息,求解获得金属微细线直径D。

全文数据:

权利要求:

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