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申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要：本发明公开了一种带微孔壳层型HDC微球硅模芯腐蚀装置，包括压力罐，所述压力罐的顶端一侧贯通连接有进气管，所述压力罐的顶端另一侧贯通连接有出气管，所述进气管上设置有第一电磁阀；所述出气管上设置有第二电磁阀；所述压力罐内设置有用于防止HDC微球上浮的HDC微球存放器，且所述HDC微球存放器为笼状结构。本发明利用压强差，加快腐蚀液进入HDC微球和生成物排除的过程，具有提升生产效率、保障生产质量的有益效果。
主权项：1.一种带微孔壳层型高密度碳微球硅模芯去除方法，通过带微孔壳层型高密度碳微球硅模芯腐蚀装置实现，所述带微孔壳层型高密度碳微球硅模芯腐蚀装置包括压力罐，所述压力罐的顶端一侧贯通连接有进气管，其特征在于：所述压力罐的顶端另一侧贯通连接有出气管；所述进气管上设置有第一电磁阀；所述出气管上设置有第二电磁阀；所述压力罐内设置有用于防止高密度碳微球上浮的高密度碳微球存放器，且所述高密度碳微球存放器为笼状结构；所述带微孔壳层型高密度碳微球硅模芯去除方法包括以下步骤：步骤一、将高密度碳微球装入高密度碳微球存放器；步骤二、将所述高密度碳微球存放器置入腐蚀液容器内，并在所述腐蚀液容器内加入腐蚀液，所述腐蚀液的液位高度高于所述高密度碳微球存放器的高度，所述腐蚀液包括氢氟酸和硝酸的混合溶液；步骤三、将所述腐蚀液容器放入内胆内，再将所述内胆放入刚性罐体内，并将所述刚性罐体密封；步骤四、关闭第二电磁阀并开启第一电磁阀，通过进气管道向压力罐内注入惰性气体进行增压，使所述腐蚀液进入所述高密度碳微球，所述惰性气体进行增压的压强为0.2~0.6MPa；步骤五、增压完成后关闭所述第一电磁阀，1~30分钟后开启第二电磁阀，所述惰性气体由出气管自然排出，使生成物从所述高密度碳微球内排出；步骤六、1~30分钟后再次关闭第二电磁阀并开启第一电磁阀，通过进气管道向压力罐内注入惰性气体进行增压，以1~30分钟为间隔，如此反复操作，待所述高密度碳微球内部的硅模芯腐蚀完全并排出生成物。
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权利要求：
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