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申请/专利权人：江苏金海创科技有限公司

摘要：本发明涉及一种高速动态聚焦激光振镜模组。其目的是提供一种集成度高、标刻精细、性能稳定的动态聚焦激光振镜。本发明包括壳体、动态聚焦模块、X扫描振镜和Y扫描振镜，动态聚焦模块、X扫描振镜和Y扫描振镜都设置在壳体内部，动态聚焦模块又包括Z轴底座、Z轴第一电机、Z轴第二电机、连杆传动机构、变焦透镜和聚焦透镜组。Z轴采用双电机的驱动方式，极大的提升了Z轴的运行速度；动态聚焦模块与X扫描振镜和Y扫描振镜组合而成，大大提高了产品的集成度。遮光座、变焦透镜和聚焦透镜组为一体化装配，保证了光路的同轴度，整体结构对电机装配及光路系统进行了高精度和紧凑化设计，在保证曲面或者大幅面精密标刻的同时，整体体积比同类型产品缩小三分之一。

主权项：1.一种高速动态聚焦激光振镜模组，其特征在于：包括壳体、动态聚焦模块、X扫描振镜7和Y扫描振镜6，壳体又包括第一壳体10和第二壳体11，第二壳体11的第一侧壁上开设有保护窗口17，保护窗口17内嵌有保护窗镜片18，与第二壳体11的第一侧壁相对的第二壳体11的第二侧壁为敞口设置，第一壳体10与第二壳体11的敞口侧配合连接，第二壳体11的第三侧壁上开设有激光入射孔16，第二壳体11内部设置有内支架12，内支架12的内部开设有空腔，空腔与保护窗口17连通，内支架12的第一侧壁上开设有第一通孔13，与内支架12的第一侧壁相邻的内支架12的第二侧壁上开设有第二通孔15，与内支架12的第二侧壁相对的内支架12的第三侧壁上开设有入光孔，第二通孔15与入光孔相对设置，第一通孔13分别与第二通孔15和入光孔相互垂直，内支架12的第一侧壁外侧设置有X扫描振镜7，X扫描电机轴穿过第一通孔13并伸入到空腔中，X扫描电机轴的端部与X镜片连接，X镜片与入光孔位于同一水平面上，内支架12的第二侧壁外侧设置有Y扫描振镜6，Y扫描电机轴穿过第二通孔15并伸入到空腔中，Y扫描电机轴的端部与Y镜片连接，Y镜片的中心对准保护窗口17的中心，内支架12的一侧设置有集成驱动板36，第二壳体11内部还设置有动态聚焦模块，动态聚焦模块的两侧分别设置有Z轴第一电机驱动板38和Z轴第二电机驱动板37，动态聚焦模块又包括Z轴底座26、Z轴第一电机24、Z轴第二电机25、连杆传动机构、变焦透镜和聚焦透镜组，Z轴底座26固定在第二壳体11的第一侧壁内侧，Z轴底座26上安装有直线导轨27，直线导轨27上嵌有滑座28，直线导轨27的一侧沿竖直方向并排固定有Z轴第一电机24和Z轴第二电机25，位于底端的Z轴第一电机轴和Z轴第二电机轴与连杆传动机构的一端铰接，连杆传动机构的另一端与滑座28铰接，滑座28上沿竖直方向安装有变焦透镜，Z轴底座26顶端沿水平方向并排设置有遮光座30和聚焦透镜组，遮光座30中间位置开设有通光孔，通光孔、变焦透镜和聚焦透镜组的中心位于同一水平直线上，变焦透镜对准激光入射孔16，聚焦透镜组对准内支架12上的入光孔；所述内支架12的四个顶角处分别开设有安装通孔，通过螺钉将内支架12固定在第二壳体11内部，内支架12的内部开设的空腔为圆柱形；所述X扫描振镜7在内支架12的第一侧壁外侧沿竖直方向安装，Y扫描振镜6在内支架12的第二侧壁外侧沿水平方向安装。

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