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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明提供一种边缘吹扫装置、基座系统及工艺腔室，该边缘吹扫装置用于吹扫承载于基座上的基片的边缘处，该边缘吹扫装置包括：吹扫通道和气源；其中，吹扫通道的出气口沿基座的周向设置，且出气口的出气方向相对于竖直方向朝向基座倾斜。通过本发明可实现改善基片边缘刻蚀或沉积的均匀性。
主权项：1.一种边缘吹扫装置，用于吹扫承载于基座上的基片的边缘处，其特征在于，所述边缘吹扫装置包括：吹扫通道和气源；其中，所述吹扫通道的出气口沿所述基座的周向设置，且所述出气口的出气方向相对于竖直方向朝向所述基座倾斜；所述气源用于向所述吹扫通道提供吹扫气体；还包括：进气管路；所述进气管路连通所述吹扫通道和所述气源，用于将来自所述气源的吹扫气体输送至所述吹扫通道中；温控结构；所述温控结构套置在所述进气管路上，用于控制所述进气管路中的吹扫气体的温度，使所述吹扫气体的温度低于所述基座的设定温度，以提升所述基片的边缘处的刻蚀速率。
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权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 边缘吹扫装置、基座系统及工艺腔室
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