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晶圆用UV减粘胶及其制备方法、晶圆用UV减粘胶带 

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申请/专利权人:芊惠半导体科技(苏州)有限公司

摘要:本发明提供了一种晶圆用UV减粘胶及其制备方法、晶圆用UV减粘胶带,涉及UV减粘胶的技术领域,主要由以下质量份数计的原料制备而成:第一单体30‑60份、第二单体10‑30份、第三单体2‑10份、第四单体1‑5份、聚合引发剂0.01‑0.5份、溶剂100‑200份、多官能团聚氨酯丙烯酸酯类预聚物和或多官能团丙烯酸酯类单体5‑15份,以及光引发剂0.5‑2份,本发明的晶圆用UV减粘胶解决了减粘胶在UV后的剥离力不易下降,容易导致晶圆在去除UV膜时有胶粒残留的技术问题,达到了减粘胶的贴合好、剥离好、耐水佳,以及在去除晶圆表面UV膜时不留残胶、无小颗粒的技术效果。

主权项:1.一种晶圆用UV减粘胶,其特征在于,主要由以下质量份数计的原料制备而成:第一单体52份、第二单体15份、第三单体8份、第四单体5份、聚合引发剂0.03份、溶剂120份、多官能团丙烯酸酯类单体15份、光引发剂1.2份、抗静电剂ASA30105份、固化剂0.8份,以及偶联剂1份;其中,所述第一单体为丙烯酸异辛酯和丙烯酸正丁酯,二者的质量比为8:2;所述第二单体为丙烯酸甲酯;所述第三单体为丙烯酸和丙烯酸羟乙酯,二者的质量比为1:5;所述第四单体为丙烯酸异冰片酯和NVP,二者的质量比为9:1。

全文数据:

权利要求:

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