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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
摘要：本发明提供能以简单构成检测第1气体浓度的气体检测装置。该装置1具备：光源2，照射红外线IF；第1腔室5，配置于红外线IF的光路LP上，供红外线IF通过并供包含吸收第1波段的红外线IF的第1气体GS1的样气GS0通过；第2腔室7，配置于光路LP上，供红外线IF通过并填充有吸收与第1波段部分重叠的第2波段的红外线IF的第2气体GS2；受光量检测部9，接收依次通过第1腔室5及第2腔室7的红外线IF并检测其受光量；压力检测部10，检测第2腔室7内的压力；运算部，基于受光量运算样气GS0中的第1气体GS1浓度，运算部基于压力校正第1气体GS1浓度。
主权项：1.一种气体检测装置，其特征在于，具备：光源，照射红外线；第1腔室，配置在从所述光源照射出的红外线的光路上，供红外线通过，并供包含吸收红外线中第1波段的红外线的第1气体的样气通过；第2腔室，配置在所述光路上，供红外线通过，并填充有吸收红外线中与所述第1波段部分重叠的第2波段的红外线的第2气体；受光量检测部，对依次通过了所述第1腔室及所述第2腔室的红外线进行受光，并检测其受光量；压力检测部，检测存在于所述第2腔室内的气体的压力；运算部，基于所述受光量运算所述样气中的所述第1气体的浓度；存储部，存储第1校准曲线以及第2校准曲线，所述第1校准曲线示出存在于所述第2腔室内的气体的压力与所述第1腔室内的样气中包含的第2气体的浓度的关系,第2校准曲线示出所述第1腔室内的所述第2气体的浓度与基于由所述受光量检测部检测到的受光量而由所述运算部运算出的所述第1腔室内的第1气体的浓度的实测值的浓度校正值R的关系，所述运算部基于由所述压力检测部检测到的存在于所述第2腔室内的气体的压力值和所述第1校准曲线求出所述第1腔室内的所述第2气体的浓度，进而根据求出的所述第1腔室内的所述第2气体的浓度和所述第2校准曲线求出第1气体的浓度校正值R，通过求出的所述浓度校正值R校正基于由所述受光量检测部检测到的受光量运算出的样气中的第1气体的浓度的实测值，从而算出所述第1气体的浓度。
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