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申请/专利权人：天合光能股份有限公司;天合光能(青海)晶硅有限公司
摘要：本申请涉及一种环形水冷屏及单晶加工装置，环形水冷屏包括冷屏本体和连通管，冷屏本体包括沿第一方向排布且连接第一段和第二段，第一段包括相连接第一内壁和第一外壁，第一内壁和第一外壁围设形成第一空间，第二段包括相连接第二内壁和第二外壁，第二内壁和第二外壁围设形成第二空间，第一内壁和第二内壁形成用于容纳晶棒的空腔，其中，第一方向为晶棒的拉伸方向；连通管两端分别连接于第一内壁和第二内壁，以使冷却液体能够依次流经第一空间、连通管、第二空间。本申请通过设置连通管连接第一空间和第二空间，从而使第一空间和第二空间内的冷却液体的流量不一致，增大了第一空间和第二空间的温差，提高了硅单晶体的生产效率。
主权项：1.一种环形水冷屏，其特征在于，所述环形水冷屏包括：冷屏本体100，包括沿第一方向排布且连接第一段110和第二段120，所述第一段110包括相连接第一内壁和第一外壁，所述第一内壁和所述第一外壁围设形成第一空间，所述第二段120包括相连接第二内壁和第二外壁，所述第二内壁和所述第二外壁围设形成第二空间，所述第一内壁和所述第二内壁形成用于容纳晶棒的空腔，其中，所述第一方向为所述晶棒的拉伸方向；连通管200，其两端分别连接于所述第一内壁和所述第二内壁，以使冷却液体能够依次流经所述第一空间、所述连通管200、所述第二空间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天合光能股份有限公司 天合光能(青海)晶硅有限公司 环形水冷屏及单晶加工装置
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