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申请/专利权人：扬州扬杰电子科技股份有限公司
摘要：半导体器件打标测试一体装置。涉及半导体加工领域。包括工作台，还包括测试工位、影像检测工位、两个分拣工位、镭射打标机和辅助测试工位，所述工作台上设有测试轨道，所述测试轨道内设有环形传输带，所述传输带用于传输被测器件，两个分拣工位分别为第一分拣工位和第二分拣工位，所述测试工位、第一分拣工位、影像检测工位和第二分拣工位分别设在工作台上、且沿着测试轨道依次设置；所述测试轨道上设有若干开口，若干开口分别对应测试工位、影像检测工位和两个分拣工位。本实用新型避免激光打标对被测器件造成损坏，保证产品的可靠性。
主权项：1.半导体器件打标测试一体装置，包括工作台，其特征在于，还包括测试工位、影像检测工位、两个分拣工位、镭射打标机和辅助测试工位，所述工作台上设有测试轨道，所述测试轨道内设有环形传输带，所述传输带用于传输被测器件，两个分拣工位分别为第一分拣工位和第二分拣工位，所述测试工位、第一分拣工位、影像检测工位和第二分拣工位分别设在工作台上、且沿着测试轨道依次设置；所述测试轨道上设有若干开口，若干开口分别对应测试工位、影像检测工位和两个分拣工位，所述测试工位用于测试被测器件的电性，删选出良品和不良品，所述分拣工位用于分拣不良品，所述影像检测工位用于检测被测器件的外观，删选出良品和不良品；所述影像检测工位包括依次设置的2D影像检测机构和3D影像检测机构；所述镭射打标机设在工作台上、且位于第一分拣工位和2D影像检测机构之间，所述镭射打标机用于对良品进行激光打标；所述辅助测试工位设在工作台上、且位于2D影像检测机构和3D影像检测机构之间，所述辅助测试工位和测试工位的结构相同，所述辅助测试工位用于测试打标后的被测器件的电性，删选出良品和不良品。
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权利要求：
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