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申请/专利权人：乐山协鑫新能源科技有限公司;江苏中能硅业科技发展有限公司
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅硅烷气装置尾气回收系统，包括依次通过管道连接的尾气进出换热器、尾气乙烯冷凝器、尾气一级液氮冷凝器、尾气一级液氮分相罐和尾气二级液氮冷凝器；尾气进出换热器前端通过换热器进气管与多晶硅硅烷气装置连接；尾气进出换热器、尾气乙烯冷凝器、尾气一级液氮冷凝器、尾气一级液氮分相罐和尾气二级液氮冷凝器底部分别通过相应的液相管连接至硅烷分相罐。通过设置多级换热设备，结合氢气、氮气、甲烷、氯硅烷和硅烷气的理化特性，利用换热降温回收氯硅烷和硅烷气的方式，一步一步提高氯硅烷和硅烷气回收率，降低尾气排放量，减少氢氧化钠碱液的消耗量。从而实现对尾气中的硅烷气进行分离，最大限度回收硅烷气。
主权项：1.一种多晶硅硅烷气装置尾气回收系统，其特征在于，包括氯硅烷回收单元、硅烷气回收单元和硅烷分相罐60；所述的氯硅烷回收单元包括依次连接的尾气乙烯冷凝器20、尾气一级液氮冷凝器30；所述的硅烷气回收单元包括依次连接的两级液氮冷凝器；所述的尾气乙烯冷凝器20用于接收硅烷气尾气，所述的硅烷气尾气经氯硅烷回收单元冷凝为液相氯硅烷，送至硅烷分相罐60中进行收集，剩余硅烷气和少量残留氯硅烷气体送入硅烷气回收单元进一步冷凝，得到的液相送至硅烷分相罐60中进行收集。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乐山协鑫新能源科技有限公司 江苏中能硅业科技发展有限公司 一种多晶硅硅烷气装置尾气回收系统
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