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申请/专利权人：苏州盛拓半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种曝光机亮度曝光外设调节机构，包括调节组件和光量调节单元；所述光量调节单元呈空心圆形，并适配于曝光机镜头；所述调节组件包括一转动自由度，当所述转动自由度执行时，对所述光量调节单元执行联动，驱动所述空心圆形作变径调节；当所述变径调节执行时，所述光量调节单元的反光度根据所述变径调节的放大或缩小方向作等同变量的增加或减小；本实用新型的技术通过机械结构，如拉伸形Z字弧板和变径调节机制，实现了高度精确的光亮度调节。这使得在不同区域实施不同的光强度或光分布成为可能，满足复杂的曝光需求。在传统的光源调节方法的基础上，实现了在不同区域施加不同的光强度或光分布的可调节性。
主权项：1.一种曝光机亮度曝光外设调节机构，其特征在于，包括调节组件（4）和光量调节单元（3）；所述光量调节单元（3）呈空心圆形，并适配于曝光机镜头（5）；所述调节组件（4）包括一转动自由度，当所述转动自由度执行时，对所述光量调节单元（3）执行联动，驱动所述空心圆形作变径调节；当所述变径调节执行时，所述光量调节单元（3）的反光度根据所述变径调节的放大或缩小方向作等同变量的增加或减小。
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权利要求：
百度查询： 苏州盛拓半导体科技有限公司 一种曝光机亮度曝光外设调节机构
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