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申请/专利权人：营口金辰机械股份有限公司
摘要：本申请提供一种分流板、分流装置及化学气相沉积设备，涉及分流技术领域。本申请提供的分流板包括多个彼此独立的流路结构；至少一个流路结构包括多级流道，下一级流道并联后与对应的上一级流道串联；首级流道的首端形成有进流口，进流口用于连接在外部管道上；末级流道的末端形成有排流口，排流口用于将流体排出分流板。本申请提供的分流板的能够提高从分流板流出的流体在空间内分布的均匀性。本申请提供的分流板用于分流。
主权项：1.一种分流板，其特征在于，包括多个彼此独立的流路结构；至少一个所述流路结构包括多级流道，下一级所述流道并联后与对应的上一级所述流道串联；首级所述流道的首端形成有进流口11，所述进流口11用于连接在外部管道上；末级所述流道的末端形成有排流口131，所述排流口131用于将流体排出所述分流板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 营口金辰机械股份有限公司 一种分流板、分流装置及化学气相沉积设备
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