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申请/专利权人：炬光(东莞)微光学有限公司
摘要：本实用新型公开了一种曝光系统和曝光装置，通过分光模块实现多通路子区域进行曝光，具体地，使用光纤阵列进行光路划分，基于加工需求将光纤阵列的出射端划分为多个子区域，还通过光导模块中的第一微透镜阵列配合分光模块实现光路的接收以使得发光模块产生的加工光影进入所述光纤阵列，所述光导模块中的第二微透镜阵列还用于将从所述光纤阵列出射的加工光束进一步地聚焦，使得曝光区域能够形成更小的点阵，从而提高曝光区域的功率密度和曝光效率，大大提升曝光系统灵活性和工作效率。
主权项：1.一种曝光系统，所述曝光系统用于多路光影曝光，包括发光模块、分光模块以及光导模块，所述发光模块包括激光光源、图像产生单元以及投影物镜，所述发光模块用于将光影投影至第一平面形成第一光影阵列，其特征在于：所述分光模块包括最小子单元为单根或者多根光纤的光纤阵列，所述光纤阵列具有接收端和出射端，所述光纤阵列的接收端用于供所述第一光影阵列进入所述光纤阵列，所述光纤阵列的出射端经构造成能够依据需求划分成多路子区域；所述光导模块包括第一微透镜阵列和第二微透镜阵列，所述第一微透镜阵列设置在所述光纤阵列与所述发光模块之间将所述第一光影阵列耦合进所述光纤阵列，所述第二微透镜阵列用于接收所述光纤阵列射出的光影并聚焦成第二光影阵列，在第二平面形成曝光区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 炬光(东莞)微光学有限公司 一种曝光系统和曝光装置
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