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申请/专利权人：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司;博宇(天津)半导体材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种PBN薄壁工件检测装置，包括支撑底台，支撑底台的顶面上设置有圆度支撑机构、升降机构及投影图像测量仪；圆度支撑机构包括下锥台及上锥台，上锥台通过支撑组件设置于下锥台的上方；升降机构设置于支撑底台的顶面上与下锥台的底面固定的连接，用于驱动下锥台进行上下升降运动；投影图像测量仪包括发射端及接收端，发射端及接收端分别设置于支撑底台的顶面上位于圆度支撑机构的两侧，用于对PBN薄壁工件图像投影后进行外径尺寸的测量。本实用新型公开了一种PBN薄壁工件检测装置，整个过程测量过程简单便捷，避免了PBN薄壁工件的因卡尺等工具产生的变形，同时还提高了检测精度。
主权项：1.一种PBN薄壁工件检测装置，其特征在于，包括支撑底台，所述支撑底台的顶面上设置有圆度支撑机构、升降机构及投影图像测量仪；其中，所述圆度支撑机构，包括下锥台及上锥台，所述上锥台通过支撑组件设置于所述下锥台的上方；所述升降机构，设置于所述支撑底台的顶面上与所述下锥台的底面固定的连接，用于驱动所述下锥台进行上下升降运动；所述投影图像测量仪，包括发射端及接收端，所述发射端及接收端分别设置于所述支撑底台的顶面上位于所述圆度支撑机构的两侧，用于对PBN薄壁工件图像投影后进行外径尺寸的测量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司 博宇(朝阳)半导体科技有限公司 博宇(天津)半导体材料有限公司 一种PBN薄壁工件检测装置
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