龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：昕芙旎雅有限公司
摘要：在本发明中，在促进容纳室中用惰性气体置换的同时，也促进了容纳室中的颗粒的排出。该EFEM包括：装载端口4；其中形成有通过将装载端口4与设置在分隔壁上的开口连接而封闭的传送室的壳体；用于向传送室供应氮气的供应管；以及用于排出传送室中的气体的排出管49。装载端口4包括能够打开关闭放置的FOUP100的盖子101的打开关闭机构54，以及通过狭缝51b与传送室连通并且容纳打开关闭机构54的一部分的容纳室60。排出管49连接至容纳室60以经由容纳室60排出传送室中的气体。
主权项：1.一种装载端口，包括：基座，其被配置为封闭壳体的开口，所述壳体形成传送室，基板在所述传送室中被传送；打开关闭机构，其能够打开和关闭安装在装载端口上的容器的盖；以及容纳室，其与所述传送室保持连通并被构造为容纳所述打开关闭机构的一部分；以及排气单元，其被配置为排出所述容纳室的气体，使得所述传送室中的压力高于外部压力。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号