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申请/专利权人：鸿舸半导体设备(上海)有限公司
摘要：本发明涉及流量测量装置技术领域，具体涉及一种半导体厂务设备的管道用流量检测装置及检测方法，流量检测装置包括主体和设置于主体的中部的流量检测部，主体的内部设置用于流体通过的第一中空腔室；流量检测部包括封闭绝缘件和弹性导通件，封闭绝缘件部分设置于第一中空腔室，弹性导通件部分穿设封闭绝缘件并与外部电性导通，弹性导通件包括均设置有有效接触端和变形区域的第一分部和第二分部；有效接触端的形状对应第一中空腔室，有效接触端的端部均设置有通断触点；变形区域设置于有效接触端的背对通断触点的端部。该装置提升了半导体厂务设备用管道的布设的通用性，提升了流量检测的准确性和精度。
主权项：1.一种半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述半导体厂务设备的管道用流量检测装置包括主体和设置于所述主体的中部的流量检测部，所述主体的内部设置用于流体通过的第一中空腔室；所述流量检测部包括封闭绝缘件和弹性导通件，所述封闭绝缘件部分设置于所述第一中空腔室，所述弹性导通件部分穿设所述封闭绝缘件并与外部电性导通，所述弹性导通件包括彼此面对的第一分部和第二分部，所述第一分部和所述第二分部能够互相对接或者分离以使得所述弹性导通件在常通状态和断开状态之间切换；所述第一分部和所述第二分部均包括有效接触端和变形区域，所述有效接触端的形状对应所述第一中空腔室，所述第一分部的有效接触端和所述第二分部的有效接触端彼此靠近的端部均设置有通断触点；所述变形区域设置于所述有效接触端背对所述通断触点的端部，所述变形区域在第一方向上的尺寸沿远离所述有效接触端的方向逐渐增大。
全文数据：
权利要求：
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