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申请/专利权人:山东昇典半导体新材料有限公司
摘要:本申请提供了一种针对量子点光刻胶的涂布设备及涂布方法,属于半导体制造技术领域,包括基座,所述基座顶部垂设有旋转电机,所述旋转电机的输出轴顶部设置有振动盘,所述振动盘的顶部设置有离心盘,所述振动盘底部设置有振动机构,晶圆置于所述离心盘顶部。本申请通过振动改善光刻胶的流动性,使光刻胶能更均匀有效地填充晶圆表面,降低了需要的离心转速,减少了光刻胶的浪费。
主权项:1.一种针对量子点光刻胶的涂布设备,包括基座(1),其特征在于:所述基座(1)顶部垂设有旋转电机(2),所述旋转电机(2)的输出轴顶部设置有振动盘(4),所述振动盘(4)的顶部设置有离心盘(3),所述振动盘(4)底部设置有振动机构(5),晶圆置于所述离心盘(3)顶部。
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权利要求:
百度查询: 山东昇典半导体新材料有限公司 一种针对量子点光刻胶的涂布设备及涂布方法
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