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申请/专利权人：雅马哈发动机株式会社
摘要：本发明提供一种能够确保稳定的部件的顶起的精度的部件安装装置。该部件安装装置100具备：第一拍摄部6；顶起部8；第一移动机构7；第二移动机构9；以及控制部10，利用第一拍摄部拍摄顶起部，基于第一拍摄部对顶起部的拍摄结果，取得包括第一移动机构的热伸长和第二移动机构的热伸长的第一热伸长校正量D1，并基于取得的第一热伸长校正量进行热伸长校正。
主权项：1.一种部件安装装置，从被切割的状态的晶圆取出部件并向基板安装，其中，具备：第一拍摄部，从上方拍摄所述晶圆的所述部件；顶起部，从下方顶起所述晶圆的所述部件；第一移动机构，使所述第一拍摄部移动；第二移动机构，使所述顶起部移动；以及控制部，利用所述第一拍摄部拍摄所述顶起部，基于所述第一拍摄部对所述顶起部的拍摄结果，取得包括所述第一移动机构的热伸长和所述第二移动机构的热伸长的第一热伸长校正量，并基于取得的所述第一热伸长校正量进行热伸长校正。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 雅马哈发动机株式会社 部件安装装置
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