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申请/专利权人:无锡市锡山区半导体先进制造创新中心;江苏优普纳科技有限公司
摘要:本实用新型公开了一种静压导轨,涉及超精密技术领域,静压导轨包括:中部设有凹型定位槽的底座、滑块、溜板、驱动部件、立柱和盖板。滑块设有多个油腔、与底座滑动连接,每个油腔设有一个或多个测压点,测压设备可以通过管道与测压点连接获取油腔的压力;溜板固定在滑块上方,溜板设有进油孔,从而与进油管道连接,使得液压油经由进油孔进入各油腔;驱动部件安装在定位槽中,可以驱动滑块运动;立柱安装在底座上垂直于定位槽方向的两侧;盖板安装在立柱上方。根据本实用新型的静压导轨,可以通过与滑块上的各个测压点连接,监测各油腔内的压力数值,从而根据压力数值分析静压导轨的性能,并根据分析结果对静压导轨的结构设计进行改进。
主权项:1.一种静压导轨,适于外接测压设备,其特征在于,包括:底座;滑块,与所述底座滑动连接,所述滑块设有多个油腔,每个所述油腔设有一个或多个测压点,所述测压设备适于通过管道与各所述测压点连接,以检测各所述油腔内的压力;溜板,固定连接于所述滑块上方,所述溜板设有进油孔,所述进油孔适于与进油管道连接,以便液压油经由进油孔进入各所述油腔。
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