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申请/专利权人：宁波普利姆半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种测量模组，属于半导体晶圆检测技术领域，具体涉及一种高精度气浮螺旋竖立运动大中空测量模组，测量平台；支撑座，固定安装于所述测量平台上；气浮旋转台，安装于所述支撑座上；两组光学检测机构，其结构相同并固定安装于所述测量平台上、且采用对称方式安装于所述气浮旋转台的两侧；所述支撑座与两组光学检测组件呈水平布置，所述气浮旋转台垂直固定安装在支撑座上；所述气浮旋转台承载面上布置有弧形电机和真空吸盘；本实用新型采用高精度螺旋式运动检测路径，检测效率高，同时采用单轴运动，避免多轴运动造成的运动误差，此外气浮旋转台采用竖立布置，避免了晶圆因为重量影响导致的晶圆平面随机变形，提高了检测精度。
主权项：1.一种高精度气浮螺旋竖立运动大中空测量模组，其特征在于，所述测量模组包括：测量平台；支撑座，固定安装于所述测量平台上；气浮旋转台，安装于所述支撑座上；光学检测部，由两组光学检测机构组成，两光学检测机构结构相同并固定安装于所述测量平台上、且采用对称方式安装于所述气浮旋转台的两侧；所述支撑座与两组光学检测组件呈水平布置，所述气浮旋转台垂直固定安装在支撑座上；所述气浮旋转台承载面上布置有弧形电机和真空吸盘。
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权利要求：
百度查询： 宁波普利姆半导体有限公司 一种高精度气浮螺旋竖立运动大中空测量模组
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