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申请/专利权人：威海精讯畅通电子科技有限公司
摘要：本申请涉及氧气感应器技术领域，尤其涉及一种基于MEMS技术的荧光氧气传感器，包括容纳腔，所述容纳腔内设置有直通光腔，所述直通光腔的一端设置有倾斜放置的荧光膜，所述荧光膜下方由上至下依次设置有平凸镜、滤光片和硅光电池，所述直通光腔的另一端设置有双色LED灯。本申请的荧光氧气传感器，灵敏度高、线性范围宽、稳定性好，可实现环境中氧气的实时测定；整体结构更加紧凑、体积小，具有更强的环境适配性。
主权项：1.一种基于MEMS技术的荧光氧气传感器，包括容纳腔，其特征在于：所述容纳腔内设置有直通光腔，所述直通光腔的一端设置有倾斜放置的荧光膜，所述荧光膜下方由上至下依次设置有平凸镜、滤光片和硅光电池，所述直通光腔的另一端设置有双色LED灯。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 威海精讯畅通电子科技有限公司 一种基于MEMS技术的荧光氧气传感器
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