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申请/专利权人：中航光电华亿(沈阳)电子科技有限公司
摘要：本发明提供一种溅射薄膜绝压传感器芯体及其制备方法，涉及传感器技术领域。所述溅射薄膜绝压传感器芯体包括基座和ASIC芯片组件，ASIC芯片组件包括ASIC芯片和玻璃罩，基座包括弹性体，弹性体包括膜片和引压口，引压口自基座的一端延伸至膜片，玻璃罩与基座键合，玻璃罩与膜片的背对引压口的一侧围设出真空腔，ASIC芯片与玻璃罩的背对膜片的一侧连接。玻璃罩作为ASIC芯片的衬底，玻璃罩与膜片的背对引压口的一侧围设出真空腔，玻璃罩与基座键合，保证了真空腔的气密性和真空度，真空腔作为溅射薄膜绝压传感器芯体的真空参考腔体，使得溅射薄膜绝压传感器芯体能够实现对绝对压力的测量。
主权项：1.一种溅射薄膜绝压传感器芯体，其特征在于，所述溅射薄膜绝压传感器芯体包括基座和ASIC芯片组件，所述ASIC芯片组件包括ASIC芯片和玻璃罩，所述基座包括弹性体，所述弹性体包括膜片和引压口，所述引压口自所述基座的一端延伸至所述膜片，所述玻璃罩与所述基座键合，所述玻璃罩与所述膜片的背对所述引压口的一侧围设出真空腔，所述ASIC芯片与所述玻璃罩的背对所述膜片的一侧连接；所述弹性体上还形成有过渡层、绝缘层和电阻膜，在所述引压口指向所述膜片的一侧，所述绝缘层、所述过渡层和所述玻璃罩依次设置，所述电阻膜设置在所述过渡层和所述绝缘层之间，所述电阻膜与所述ASIC芯片连接；所述过渡层与所述玻璃罩键合。
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