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申请/专利权人:弥费科技(上海)股份有限公司
摘要:本申请涉及一种用于晶圆缓存设备快速搬运的装置;包括:底座,所述底座设有沿所述底座的高度方向设置的安装腔,所述安装腔的顶部开放;升降平台,所述升降平台安装于所述底座,且所述升降平台的至少部分容纳在所述安装腔中;以及若干车轮,在与所述高度方向相垂直的方向上,所述车轮安装于安装腔的一侧,且所述车轮的顶部不高于所述底座的顶部。升降平台能够根据需要升降,从而能够支撑住晶圆缓存设备快速,并且能够抬升底部距离地面高度不同的不同晶圆缓存设备。此外,升降平台能够至少部分容纳于安装腔,车轮安装于安装腔的一侧且车轮的顶部不高于底座的顶部,能够极大地降低装置在底座的高度方向上的尺寸。
主权项:1.一种用于晶圆缓存设备快速搬运的装置,其特征在于,所述用于晶圆缓存设备快速搬运的装置包括:底座,所述底座设有沿所述底座的高度方向设置的安装腔,所述安装腔的顶部开放;升降平台,所述升降平台安装于所述底座,且所述升降平台的至少部分容纳在所述安装腔中;以及若干车轮,在与所述高度方向相垂直的方向上,所述车轮安装于安装腔的一侧,且所述车轮的顶部不高于所述底座的顶部。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 弥费科技(上海)股份有限公司 用于晶圆缓存设备快速搬运的装置
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