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申请/专利权人：赛姆柯(苏州)智能科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种LPCVD工艺腔室用法兰，包括本体、密封板，本体设置在石英炉体一端，本体围绕石英炉体周向并设置在石英炉体外，本体内设置有腔体，腔体沿本体的周向设置，本体的外周上开设有进液孔、安装孔、出液孔，进液孔、安装孔、出液孔沿本体的周向顺序设置，进液孔与腔体贯通用于与冷却介质供送装置连通，出液孔与腔体贯通用于与冷却介质抽出装置连通，安装孔内设置有阻挡块，阻挡块将腔体隔断，使得从进液孔进入的液体在腔体内流通并从出液孔流出；密封板与本体连接。本实用新型提供的LPCVD法兰，本体内设有腔体，从本体进液孔进入的冷却介质在腔体内流通一圈后流出，可对炉口、炉尾起到更好的冷却效果，减少炉口和炉尾结晶。
主权项：1.一种LPCVD工艺腔室用法兰，其特征在于，包括本体、密封板，所述的本体设置在石英炉体一端，所述的本体围绕石英炉体周向并设置在所述的石英炉体外，所述的本体内设置有腔体，所述的腔体沿所述的本体的周向设置，所述的本体的外周上开设有进液孔、安装孔、出液孔，所述的进液孔、安装孔、出液孔沿所述的本体的周向顺序设置，所述的进液孔与所述的腔体贯通用于与冷却介质供送装置连通，所述的出液孔与所述的腔体贯通用于与冷却介质抽出装置连通，所述的安装孔内设置有阻挡块，所述的阻挡块将所述的腔体隔断，使得从所述的进液孔进入的液体在所述的腔体内流通并从所述的出液孔流出；所述的密封板设置在所述的本体远离石英炉体的一端并与所述的本体连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 赛姆柯(苏州)智能科技有限公司 一种LPCVD工艺腔室用法兰
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