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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：本发明提供了一种利用高功率脉冲磁控溅射DLC膜层提高60NiTi合金耐磨性的方法，属于合金表面处理技术领域。本发明以Ti为靶材，通过第一高功率脉冲磁控溅射，获得Ti过渡层。本发明采用乙烯、高纯氩气的混合气体作为第二高功率脉冲磁控溅射的气体，其中氩气负责提供高能离子产生等离子体，乙烯作为DLC膜层的碳源并且提供氢元素，在高功率脉冲磁控溅射的作用下，沉积出光滑致密的DLC薄膜，能够有效降低60NiTi合金的摩擦系数，提高60NiTi合金的硬度，能够作为低摩擦系数、高硬度的新型轴承材料。
主权项：1.一种利用高功率脉冲磁控溅射DLC膜层提高60NiTi合金耐磨性的方法，包括以下步骤：以Ti为靶材，在60NiTi基材表面进行第一高功率脉冲磁控溅射，得到沉积有Ti过渡层的60NiTi基材；以乙烯、高纯氩气的混合气体作为工作气体，在所述沉积有Ti过渡层的60NiTi基材表面进行第二高功率脉冲磁控溅射，在所述Ti过渡层表面形成DLC膜层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 一种利用高功率脉冲磁控溅射DLC膜层提高60NiTi合金耐磨性的方法
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