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一种精微流体计量与配混装置 

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申请/专利权人:浙江师范大学

摘要:本发明涉及一种精微流体计量与配混装置,属流体驱控领域。由带内磁环的集成块、带外磁环的外盖、圆振子、长方振子及内外磁环构成;集成块的至少两个侧面上设有体腔组,体腔组由内外体腔构成的阶梯腔,内体腔底壁上设有分别与进出孔连通的进孔腔和出孔腔;各体腔组的进孔相互独立、出孔相互连通;内磁环套在进出孔腔外侧;进出孔腔中分别设有带内进孔的进孔腔盖和带内出孔的出孔腔盖,进孔腔盖与进孔腔构成进孔阀腔,出孔腔盖与出孔腔构成出孔阀腔,进出孔阀腔内所装的长方振子分别构成进出孔阀;外盖装在集成块上并将圆振子的边缘压接在外体腔底壁上,圆振子与内体腔构成驱动腔;长方振子和圆振子与内磁环和外磁环间的耦合力使其称为双稳态系统。

主权项:1.一种精微流体计量与配混装置,由集成块、外盖、圆振子、长方振子、内磁环及外磁环构成;其特征在于:外盖上嵌有磁极沿轴向配置的外磁环;圆振子为由圆基板与圆晶片粘接而成,长方振子由长方基板与长方晶片粘接而成,圆基板和长方基板由铁磁性金属制成,圆晶片和长方晶片由压电材料制成;集成块的至少两个侧面上设有体腔组并镶嵌有内磁环,体腔组由外体腔和内体腔构成的阶梯腔,内体腔的底壁上设有分别与进孔和出孔连通的进孔腔和出孔腔;各体腔组的进孔相互独立、出孔相互连通;内磁环套在进孔腔和出孔腔的外侧,内磁环的磁极沿轴向配置;进孔腔和出孔腔中分别设有带内进孔的进孔腔盖和带内出孔的出孔腔盖,进孔腔盖与进孔腔构成进孔阀腔,出孔腔盖与出孔腔构成出孔阀腔,进孔阀腔和出孔阀腔内所装的长方振子分别构成进孔阀和出孔阀;进孔阀腔内,长方振子与其所封堵的进孔构成进孔阀;出孔阀腔内,长方振子与其所封堵的内出孔构成出孔阀;长方振子自由端的长方基板一侧与其所封堵的进孔或内出孔接触,长方振子的自由端靠近内磁环;外盖装在集成块上并将圆振子的边缘压接在外体腔底壁上,圆振子与内体腔构成驱动腔;圆振子及长方振子分别经独立的导线与驱动电源连接且其电压独立调节;圆振子和长方振子工作中具有双稳态特性:工作过程中,圆振子和长方振子受电压及磁耦合力作用,圆振子往复变形并使驱动腔的容积和流体压力交替增减,进孔阀与出孔阀交替地开启与闭合,进而使流体从进孔进入、出孔流出。

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