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申请/专利权人：重庆大学

摘要：本发明公开了4DSTEM图像数据处理方法和装置，涉及透射电镜技术领域。该方法包括：分析4DSTEM数据集包括原始CBED图像所对应第一样品点的空间信息；对原始CBED图像进行像差校正；针对设定高度的样品层中第二样品点执行：确定第二样品点的空间坐标，根据二维图像坐标系与空间坐标系的转换关系，在二维图像坐标系下转换出第二样品点的多个预测像素点坐标；根据第二样品点的空间坐标、预测像素点坐标以及第一样品点的空间信息，从4DSTEM数据集中，筛选出多个预测像素点坐标的像素数据；利用筛选出的像素数据，重组出样品层的4DSTEM数据集。以实现4DSTEM数据重聚焦，提高重组4DSTEM数据准确性。

主权项：1.一种4DSTEM图像数据处理方法，其特征在于，包括：分析4DSTEM数据集包括的每一张原始CBED图像所对应的第一样品点在预设的空间坐标系中的空间信息；对所述原始CBED图像进行像差校正，利用像差校正后的CBED图像替代其所对应的原始CBED图像；针对任意设定高度的样品层中的每一个第二样品点执行下述操作：确定所述第二样品点在所述空间坐标系中的空间坐标，并根据预设的二维图像坐标系与所述空间坐标系之间的转换关系，在所述二维图像坐标系下转换出对应于所述第二样品点的多个预测像素点坐标；根据所述第二样品点的空间坐标、多个所述预测像素点坐标以及每一张原始CBED图像所对应的第一样品点的空间信息，从所述4DSTEM数据集中，筛选出对应于多个所述预测像素点坐标的像素数据；根据筛选出的对应于多个所述预测像素点坐标的像素数据，重组出对应于所述设定高度的样品层的4DSTEM数据集；所述从所述4DSTEM数据集中，筛选出对应于多个所述预测像素点坐标的像素数据，包括：针对每一个所述预测像素点坐标，执行下述操作：根据每一张所述原始CBED图像所对应的第一样品点的空间信息，查找经过所述第二样品点的空间坐标和所述预测像素点坐标的光线或者虚拟光线所经过或者相邻的目标第一样品点；从所述目标第一样品点所对应的原始CBED图像中，获取对应于所述预测像素点坐标的像素数据；所述查找经过所述第二样品点的空间坐标和所述预测像素点坐标的光线或者虚拟光线所经过或者相邻的目标第一样品点，包括：根据所述第二样品点的空间坐标和所述预测像素点坐标，计算经过所述第二样品点的空间坐标和所述预测像素点坐标的光线或者虚拟光线的空间传播方向；根据所述光线或者所述虚拟光线的空间传播方向，定位出所述光线或者所述虚拟光线所经过的基准样品层的目标空间坐标点，其中，所述基准样品层为包括所述第一样品点的样品层；根据所述目标空间坐标点，确定出目标第一样品点。

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权利要求：

百度查询： 重庆大学 一种4D STEM图像数据处理方法和装置