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申请/专利权人：中国科学院近代物理研究所
摘要：本发明公开了一种用于金属铌的纳米级微量可控化学表面精细剥蚀方法。所述方法包括分步式酸洗的步骤：硝酸溶液中氧化以形成纳米级氧化膜、氢氟酸中溶解所述纳米级氧化膜。处理铌片时，所述硝酸溶液和所述氢氟酸完全浸没样片，且液面高于样片上表面10mm；处理铌材射频超导腔时，所述硝酸溶液和所述氢氟酸的体积与腔容量相等。本发明构建的用于超导腔表面处理的分步式表面精细剥蚀方法针对传统清洗方法的低效清除以及对表面的破坏性，在高效去除化学残留颗粒的同时保证表面的粗糙度不被破坏，有效地提高超导射频腔的品质因子和性能；该方法操作简单，效率高，适用于各种形状的高纯铌射频超导腔表面处理。
主权项：1.一种用于去除铌及射频超导腔表面化学残留颗粒的表面精细剥蚀方法，包括分步式酸洗的步骤：硝酸溶液中氧化以形成纳米级氧化膜、氢氟酸中溶解所述纳米级氧化膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院近代物理研究所 一种用于金属铌的纳米级微量可控化学表面精细剥蚀方法
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