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申请/专利权人：郑州大学
摘要：本发明属于短波红外光电探测技术领域，公开了一种碲‑硒合金和硅的PN结型自驱动短波红外光电探测器及其制备方法。该探测器包括n型硅衬底、p型碲‑硒合金薄膜、Al2O3界面钝化层、漏极金属和源极金属；其中p型碲‑硒合金薄膜作为短波红外光吸收层，漏极金属作为碲‑硒合金薄膜的欧姆接触电极，源极金属作为n型硅衬底的欧姆接触电极，Al2O3界面钝化层位于碲‑硒合金薄膜和n型硅衬底之间。本发明的探测器在无外加电源条件下，对短波红外光，尤其是光通信波段1200‑1600nm的短波红外光具有显著的自驱动响应特性，与现有商用短波红外光电探测器相比，具有制备工艺简单、成本低、易于与硅基读出电路集成等优势。
主权项：1.一种碲-硒合金和硅的PN结型自驱动短波红外光电探测器，其特征在于，所述自驱动短波红外光电探测器包括：n型硅衬底1、p型碲-硒合金薄膜3、Al2O3界面钝化层2、漏极金属4和源极金属5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 郑州大学 一种碲-硒合金和硅的PN结型自驱动短波红外光电探测器及其制备方法
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