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申请/专利权人：华为技术有限公司
摘要：本申请实施例提供一种球差校正装置和带电粒子光学系统，涉及带电粒子光学技术领域，一该球差校正装置包括：第一电极，以及依次层叠设置在第一电极上的第二电极、第三电极和第四电极，其中，第二电极的环形孔在第一电极上的投影覆盖第一电极的环形孔；第三电极的环形孔在第二电极上的投影与第二电极的环形孔重叠；第四电极的通孔在第三电极上的投影覆盖第三电极的环形孔；第一电极、第二电极、第三电极和第四电极之间绝缘。本申请实施例提供的球差校正装置可以使带电粒子束发生多次偏转，经过多次偏转后的带电粒子束可以校正经透镜后产生的球差，减小在透镜的成像平面形成的聚焦斑，提高了空间分辨率，且该球差校正装置结构简单，便于应用。
主权项：1.一种球差校正装置，其特征在于，包括：第一电极，以及依次层叠设置在所述第一电极上的第二电极、第三电极和第四电极，其中，所述第一电极包括第一子电极和第二子电极，所述第一子电极和第二子电极之间形成有环形孔，所述第一子电极和第二子电极通过多个连接部连接；所述第二电极包括第三子电极和第四子电极，所述第三子电极和第四子电极之间形成有环形孔，所述第三子电极和第四子电极通过多个连接部连接；所述第二电极的环形孔在所述第一电极上的投影覆盖所述第一电极的环形孔；所述第三电极包括第五子电极和第六子电极，所述第五子电极和第六子电极之间形成有环形孔，所述第五子电极和第六子电极通过多个连接部连接；所述第三电极的环形孔在所述第二电极上的投影与所述第二电极的环形孔重叠；所述第四电极的中心设置通孔，所述第四电极的通孔在所述第三电极上的投影覆盖所述第三电极的环形孔；所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极和所述第四电极之间绝缘。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华为技术有限公司 一种球差校正装置和带电粒子光学系统
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