龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：沈阳富创精密设备股份有限公司
摘要：本发明涉及原子层沉积技术领域，具体是一种氧化钇陶瓷涂层原子层沉积系统，包括导轨和沿着导轨方向依次设置的七个工作工位，所述工作工位依次为上料工位、预处理工位、前驱体反应工位、中间处理工位、氧化剂反应工位、后处理工位和下料工位，在所述预处理工位、前驱体反应工位、中间处理工位、氧化剂反应工位和后处理工位上分别设置有一个单体工序腔，单体工序腔分别为预处理腔、前驱体反应腔、中间处理腔、氧化剂反应腔和后处理腔，在导轨上安装有与七个所述工作工位相对应的可移动的单体工件装载装置，所述单体工件装载装置与所述单体工序腔通过快速接通机构连通或断开。该氧系统实现了氧化钇陶瓷涂层原子层沉积的工业化生产，提高了生产效率。
主权项：1.一种氧化钇陶瓷涂层原子层沉积系统，其特征在于，包括导轨（1）和沿着导轨（1）方向依次设置的七个工作工位，所述工作工位依次为上料工位、预处理工位、前驱体反应工位、中间处理工位、氧化剂反应工位、后处理工位和下料工位，在所述预处理工位、前驱体反应工位、中间处理工位、氧化剂反应工位和后处理工位上分别设置有一个单体工序腔（2），所述单体工序腔（2）分别为预处理腔、前驱体反应腔、中间处理腔、氧化剂反应腔和后处理腔，在导轨（1）上安装有与七个所述工作工位相对应的可移动的单体工件装载装置，所述单体工件装载装置（3）与所述单体工序腔（2）通过快速接通机构连通或断开。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沈阳富创精密设备股份有限公司 一种氧化钇陶瓷涂层原子层沉积系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号