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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：涉及通过热板从下方加热基板的加热装置和加热方法。一边在预先设定的交接位置稳定地接收基板之后，利用复数个吸附垫吸附基板，一边在适当加热位置对基板实施加热处理。无论基板翘曲状态如何，本发明利用上端位于交接位置的中间升降销来接收基板。因此，通常在交接位置交接基板。如此，在接收基板之后，利用安装于中央升降销的上端的中央吸附垫来吸附保持基板背面中央部。并且，在由中央吸附垫吸附保持的状态下，使中央升降销和中间升降销下降，将基板背面中央部定位于加热位置。由此，矫正基板中央部的翘曲中央矫正工序。另外，在中央矫正工序之前或之后，使用安装于周缘升降销的上端的周缘吸附垫来矫正基板周缘部的翘曲周缘矫正工序。
主权项：1.一种加热装置，在交接位置接收表面朝上方的面朝上状态的基板之后，在上下方向上比所述交接位置更靠近下方的加热位置，通过热板来加热所述基板，所述加热装置的特征在于，具有：中央升降销，构成为在所述基板的背面中央部的下方沿所述上下方向自由升降；中央吸附垫，安装于所述中央升降销的上端；周缘升降销，构成为在所述基板的背面周缘部的下方沿所述上下方向自由升降；周缘吸附垫，安装于所述周缘升降销的上端；中间升降销，构成为在所述基板的背面中的介于所述背面中央部与所述背面周缘部之间的背面中间部的下方沿所述上下方向自由升降；升降机构，使所述中央升降销、所述周缘升降销以及所述中间升降销升降；以及控制部，对基于所述中央吸附垫和所述周缘吸附垫的对所述基板的吸附和基于所述升降机构的对所述中央升降销、所述周缘升降销以及所述中间升降销的升降进行控制，所述控制部通过在使所述中间升降销的上端位于所述交接位置的状态下接收所述基板之后使所述中间升降销下降，将所述基板的背面定位于所述加热位置，所述控制部一边利用所述中央吸附垫吸附已定位于所述加热位置的所述基板的所述背面中央部，一边将所述中央吸附垫的上端定位于所述加热位置，并且一边利用所述周缘吸附垫吸附已定位于所述加热位置的所述基板的所述背面周缘部，一边将所述周缘吸附垫的上端定位于所述加热位置。
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