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申请/专利权人：东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要：本发明属于电子束扫描设备在半导体的应用技术领域，尤其涉及一种电子束扫描设备及其密封阀门装置；密封阀门装置，应用于电子束扫描设备，密封阀门装置包括调节组件以及阀门组件，调节组件包括调节机构和推杆，推杆连接阀门组件；其中，阀门组件包括密封部、及沿推杆的轴向连接于密封部一侧的连通部，调节机构使得推杆至少能够沿轴向伸缩，以切换密封部或连通部的任一者连接电子束扫描设备的电子束传输通道，以密封或者开启电子束传输通道；确保在维护保养期间确保和真空腔室相关的元器件其性能的稳定，避免元件受损或者失效，延长设备使用寿命，且在重新投入使用后无需重新抽真空，减少操作时间，提高工作效率。
主权项：1.一种密封阀门装置，应用于电子束扫描设备，其特征在于，所述密封阀门装置包括调节组件以及阀门组件，所述调节组件包括调节机构和推杆，所述推杆连接所述阀门组件；其中，所述阀门组件包括密封部、及沿所述推杆的轴向连接于所述密封部一侧的连通部，所述调节机构使得所述推杆至少能够沿轴向伸缩，以切换所述密封部或连通部的任一者连接所述电子束扫描设备的电子束传输通道，以密封或者开启所述电子束传输通道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 电子束扫描设备及其密封阀门装置
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