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申请/专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
摘要：本申请实施例提供了一种晶圆结构检测方法、装置、计算机设备及可读存储介质，属于图像处理技术领域。方法包括：获取待检测晶圆的待检测图像，并对待检测图像进行缺陷检测，得到待检测晶圆的结构缺陷分布图；针对结构缺陷分布图中的每个像素，分别为每个像素创建对应的处理线程；通过多个处理线程并行对结构缺陷分布图中的像素进行连通区域标记，得到标记信息图，标记信息图包含至少一个结构缺陷区域；通过多个处理线程并行对标记信息图中的结构缺陷区域进行结构分析，得到待检测晶圆的结构信息。以此，能够提高对晶圆结构的检测效率。
主权项：1.一种晶圆结构检测方法，其特征在于，所述方法包括：获取待检测晶圆的待检测图像，并对所述待检测图像进行缺陷检测，得到所述待检测晶圆的结构缺陷分布图；针对所述结构缺陷分布图中的每个像素，分别为每个像素创建对应的处理线程；其中，所述处理线程为图形处理器生态化下的并行线程；通过多个处理线程并行对所述结构缺陷分布图中的像素进行连通区域标记，得到标记信息图，所述标记信息图包含至少一个结构缺陷区域；通过多个所述处理线程并行对所述标记信息图中的结构缺陷区域进行结构分析，得到所述待检测晶圆的结构信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市格灵精睿视觉有限公司 晶圆结构检测方法、装置、计算机设备及可读存储介质
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